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精密工程研究所现有25人的专职研究与工程队伍,包括教授/博导9人,副教授/副研究员/高级工程师8人,工程师及讲师7人,高级技师1人,其中16人具有博士学位,本所还另聘有15名左右高级工程师和技师。该超精密加工技术学术方向的主要科研人员还包括十余名机械制造及自动化系和航空宇航制造系的教授、副教授和具有博士学位的青年教师等。目前在所工作的国家杰出青年基金获得者2人,特聘教授1人,全国百名优秀博士论文获得者1人,全国百名优秀博士论文提名奖1人,教育部新世纪优秀人才1人。目前有80余名博士和硕士研究生在研究所从事相关课题研究。
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